像芯片这类半导体元件的构造复杂精巧,内部线路层层堆叠、高密度紧凑排布,制造难度堪比在发丝上进行雕刻,哪怕仅有一粒微小尘埃混入,都会埋下质量隐患,拉低终端设备的运行性能与使用寿命。
因此,精密化的缺陷检测,是半导体生产中不可或缺的关键环节。海康威视超声显微镜,专为芯片等半导体元件做“深度体检”,不需要复杂操作,更不用拆解、切割、破坏样品,就能快速筛查出气泡、空洞、杂质、分层等各类内部隐蔽缺陷;搭配AI算法,还能自动标注、计算缺陷尺寸,检测精度直达微米级别,全方位筑牢芯片品质防线。
01 超声绘制“内部地图”实现高效无损探伤
在半导体制造领域,芯片检测是质量把控的关键一环。但传统检测方式各有局限:光学显微镜只能观测表面划痕,无法探查内部问题;X光射线虽然能透视内部结构,却难以精准定位缺陷深度位置;物理切片检测不仅会永久破坏样品,还只能观察到局部区域。
如同蝙蝠依靠回声定位,在黑暗中清晰辨识周遭环境。海康威视超声显微镜通过定向发射超声波,再经由智能算法精准解析回弹声波信号,还原芯片深层内部结构。
值得一提的是,普通B超检测设备如同从物件中间纵向一刀切,只能看到单一截面;海康威视超声显微镜采用C超分层扫描模式,可对芯片进行分层、逐层扫描,无需拆解破坏样品,精准绘制完整的内部结构地图,为芯片等半导体元器件提供快速、精准、无损的一体化内部缺陷检测解决方案。
02 AI智能研判精准锁定微米级缺陷
传统超声检测模式下,设备完成扫描后,需依靠资深技术人员人工对照A扫波形和C扫成像,逐一判断缺陷位置、大小与类型,高度依赖人工经验,不仅耗时耗力,检测效率与判定稳定性也难以保障。
海康威视超声显微镜依托海量超声原始波形数据库与自研AI大模型,不仅能精准识别焊接缺陷、粘接缺陷、封装分层、粘片空洞等近百种缺陷,还能自动统计缺陷的尺寸、面积,最小可捕捉微米级缺陷,精度比头发丝还要细几十倍。
03 大屏可视化呈现,批量检测适配量产需求
设备支持外接高清大屏,实现同步检测轨迹与扫描画面,并以分层图像模式直观展示缺陷形态,工作人员可实时掌握探伤进度与检测结果,让判断更直接,操作更便捷。
同时,设备支持多件同类产品同步扫查,轻松适配工业化量产大批量检测场景,大幅提升生产质检效率。
目前,海康威视超声显微镜应用场景广泛,覆盖TO封装芯片、SOT封装芯片、IGBT功率模块等各类主流半导体元器件;同时适配各类陶瓷、非金属、金属新材料的内部无损探伤,为各行业质检提供简单、可靠、高效的解决方案。
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