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夏罗登SCHALOD工业科技立足G60科创走廊加速小微精密流量计国产化进程

来源:映象网 发表时间:2025-09-23 16:54
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衷心感谢松江区政府官媒平台的两次专题报道!这份认可既是对夏罗登SCHALOD工业科技在精密气体控制领域技术实力的肯定,更是对我们坚持国产化使命的鼓励。

我们深知,每一份关注都承载着期待。夏罗登SCHALOD团队将始终以“技术攻坚”为初心,脚踏实地推进高端MFC的研发,助力半导体产业链自主可控。未来,我们愿与政府、行业伙伴携手,以实干回应信任,用创新突破瓶颈,不负松江这片科创热土的培育与期盼!

夏罗登SCHALOD核心产品介绍

在气体质量流量的测量和控制领域具备独特的技术专长,精度高,响应时间短可精准测量小微气体流量,长期以来为客户提供卓越及稳定的气体测控技术和整体解决方案。广泛应用在半导体、太阳能光伏、汽车工业、新能源、医疗设备、环境监测,生物化学和生命科学等领域,满足其对于精密可靠的气体测控及工艺管理的需求,以适应快速迭代的终端应用和持续提升的客户需求。

MFC核心应用

芯片半导体生产CVD工艺中工艺可重性,为大规模生产提供一致性保障,精确控制,确保气体配比和流量稳定,直接影响薄膜质量。适应复杂需求:如腐蚀性气体、快速切换、超低流量等场景。

生物医药制造领域,细胞培养与生物反应器:调节O₂和CO₂流量,维持细胞生长环境(如pH值、溶氧量)。药物合成与纯化:控制反应气体(如H₂、CO₂)流量,确保化学反应效率和产物纯度。灭菌与包装:精确调节环氧乙烷(EO)或惰性气体(N₂)流量,确保灭菌效果和药品保质期。

光伏制造中薄膜沉积(CVD/PVD/ALD):控制反应气体(如SiH₄、NH₃)和载气(如N₂、Ar)的流量,沉积高质量薄膜(如氮化硅减反射膜、氧化铝钝化层)。掺杂:节掺杂气体(如POCl₃、B₂H₆)的流量,优化PN结性能。刻蚀:控制刻蚀气体(如CF₄、SF₆)的流量,确保图案精度和刻蚀均匀性。

新能源制造中,燃料电池制造时调节H₂和O₂流量,优化燃料电池的氧化还原反应效率。锂电池电极材料制备控制惰性气体(如N₂、Ar)流量,防止电极材料氧化。氢能储运:精确控制H₂流量,确保储氢罐充装安全性和效率。

传感器设计为带柔性嵌件的钳式传感器,可在几毫秒内检测不同直径的软管中液体的流速。半导体行业的典型工业应用包括:晶圆清洗设备、光刻设备、混合设备、化学品供应系统或浆料管路。传感器与液体无接触,适用于所有有严格卫生要求的应用、例如生物技术、制药业或化学工业等领域。

外夹式超声波流量计核心应用

微化工与制药:微量化学试剂输送(如催化剂、添加剂)、高纯度药液或溶媒的灌装与配比(如注射剂、生物制剂)、实验室微型反应器的流体控制。

实验室与科研设备:分析仪器(如HPLC液相色谱、质谱仪)的流动相监测、微流体芯片实验的流量反馈控制、小型反应釜的实时流量记录。

医疗与生命科学:血液透析机、输液泵的管路流量监控、生物反应器中培养基或营养液的循环控制、细胞培养系统的无菌流体传输。

半导体与电子工业:高纯化学品(光刻胶、蚀刻液)的精密输送、超纯水(UPW)系统的微小流量监测、晶圆清洗设备的流体控制。

食品与饮料:调味剂、香精的微量添加控制、小型灌装线(如瓶装饮料、酱料)的流量校准、发酵罐的营养液循环监测。

环保与精细化工:微量废水采样分析(如重金属离子监测)、化学添加剂(如阻垢剂、消泡剂)的精准投加、气体吸收塔的液体循环量控制。

核心行业应用

过程分析产品包括:高温纯水pH、卫生型卡盘电导率电极、pH电极变送器、电导率电极变送器、pH电极变送器、多功能轨道变送器等产品,广泛应用于纯水、超纯水、循环水、锅炉水、中水水质监控、电子、光电、光伏、半导体等清洗监控、制药、印染、化工、食品、化妆品等过程监控。

编辑:龚忻

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