山东产研院MEMS平台在第26届国际光电博览会达成多项合作意向

2025年9月10—12日，山东产研院微纳制造公共技术服务平台（以下简称“平台”）首次参加第26届中国国际光电博览会，吸引了大量专业人士驻足交流与咨询。此次参展成果丰硕，平台接待了来自产业链上下游企业、高校及科研院所的众多专业人士，现场对接企业逾50家，达成初步合作意向20余项，为平台在代工服务、产业协同及创新研发等多个维度成功链接了宝贵资源。

作为山东省微纳制造领域的重要公共服务平台，本次展会中重点展示了其在MEMS工艺开发、中试验证、批量生产及成果转化等方面的全链条服务能力。平台带来了多款特色工艺包与成熟工艺方案，涵盖光学传感器、惯性传感器、气体传感器、生物传感器等热门应用方向，充分体现了其在跨领域协同创新中的技术积累与资源整合能力，尤其在定制化工艺服务与快速响应方面的能力受到高度认可。

期间，平台与多家光电行业龙头企业及创新团队展开交流，并与产业链上下游企业、高校及科研院所初步达成合作意向20余项，覆盖工艺联合开发、中小批量试制、项目孵化等多个合作领域。

借助此次参展契机，平台进一步扩大了行业影响力，为后续深入对接粤港澳大湾区光电产业资源、拓展区域性战略合作奠定了坚实基础。未来，平台将继续依托山东产研院的产业生态与创新能力，积极推进微纳制造技术在光电领域的应用落地，助力我国光电产业的高质量发展与国际化布局。

— 微纳制造公共技术服务平台 —

纳制造公共技术服务平台是山东产研院部署的高能级创新平台之一，是济南市首条具备完整MEMS芯片生产加工能力的产线。自2023年正式投产以来，一直积极开展各项工艺设计、委托开发、联合开发、中试验证、批量量产和成果转化等业务，加速产业资源整合转化，全力建设成为一个可以提供高效率代工研发服务、4&6英寸MEMS产品稳定批产服务、产学研联合集智创新服务的全周期产业培育创新基地。平台以客户需求为导向，完善体制机制，优化工艺流程，提高生产质量，对工艺生产质量和服务品质高标准严要求。依托山东产研院省级平台，积极与客户开展政、产、学、研、金和代工等沟通协作，在优质的微纳芯片设计及加工服务基础上，内引外联、促进产业转化，共同推进区域产业创新发展。