ASML参展第五届进博会 推动半导体技术突破边界

　　首次通过“元宇宙”平台，为参展者带来沉浸式的光刻体验，第五届进博会期间，在半导体行业光刻设备供应商ASML的展台前，不少参会者驻足停留，体验光刻机“开箱”的精彩瞬间。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示，“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　中国工业报从ASML展台获悉，进博会期间，ASML通过元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂等互动形式，结合现场讲解，展示了其“铁三角”业务——包括配备先进工艺控制能力的光刻机台，计算光刻、光学和电子束量测的全方位光刻解决方案。

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅，带给与会观众身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观众可“亲身”进入无尘室 ，近距离接触神秘的光刻机；更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观众沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　此外，ASML还“请出”了虚拟课堂中的Dr.A导师，通过H5互动游戏的方式，耐心指导参观者们一步步完成训练，深入了解 “铁三角”全方位光刻解决方案中的各个业务环节如何互相配合，展示如何为用户提升芯片的良率和产能。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。按照规划，ASML也将继续以开放与专注的精神投入中国市场，携手客户、合作伙伴及多元人才，共同推动半导体技术突破边界。

　　资料显示，ASML是半导体行业的知名供应商，为荷兰阿姆斯特丹证券交易所和美国纳斯达克上市公司，主要为芯片制造商提供硬件、软件和服务，大规模生产集成电路（芯片）。ASML总部位于荷兰菲尔德霍芬，在欧洲、美国和亚洲各地设有办公室，员工超过37500名。（余娜）

编辑：李芊诺

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