6月29日,科创板上市委员会审议会议结果公告,中巨芯科技股份有限公司(以下简称“中巨芯”或公司)首发申请获通过,保荐机构和主承销商为海通证券。公司本次发行股票数量36931.90万股,拟募集资金总额150,000.00万元。
中巨芯主要从事电子湿化学品、电子特种气体和前驱体材料的研发、生产和销售。产品广泛应用于集成电路、显示面板以及光伏等领域的清洗、刻蚀、成膜等制造工艺环节,市场规模持续高速发展,已成为行业发展不可或缺的关键性电子化学材料供应商
公司专注于电子化学材料领域,剑指高端,通过自主创新,引领市场需求,取得了多项技术和工艺的突破;在电子湿化学品方面,公司电子级氢氟酸已达到G5级纯度,覆盖55nm及以下制程12英寸晶圆制造;电子级硫酸已达到G5级纯度,覆盖28nm及以下制程12英寸晶圆制造;电子级硝酸已达到G5级纯度,覆盖14nm制程12英寸晶圆制造;电子级盐酸已达到G4级纯度,覆盖12英寸晶圆制造;其中,G4级纯度的缓冲氧化物刻蚀液的已获得厂商认证并量产,覆盖8英寸及12英寸集成电路制造领域。在电子特种气体和前驱体材料方面,公司6N纯度高纯氯气已获得厂商认证并量产,覆盖28nm及以下制程12英寸晶圆制造;6N纯度高纯氯化氢已获得外延反应腔体清洗气体及用作外延工艺反应气体的认证量产;另外,公司的氟碳类气体、前驱体材料如HCDS、BDEAS、TDMAT等,已获得厂商认证测试,开始批量出货。
作为电子化学品的国产替代主力军,近年来,中巨芯瞄准高端,紧抓市场需求热点,积极储备人才技术,依托“先进电子化学材料浙江省工程研究中心”开展研发活动,不断丰富产品品类和工艺持续改进。子公司“浙江凯圣氟化学”和“博瑞电子”以及募投项目“中巨芯潜江年产19.6万吨超纯电子化学品项目”等技术储备已跻身国际先进水平,为同行业第一梯队水平,产品技术指标可以覆盖目前先进集成电路和面板等技术节点的要求。据悉,公司高纯系列主流产品,已达到了最高纯度SEMI G5等级和高纯度的SEMI G4等级,部分产品达到了纯度超过99.9995%的6N等级甚至高纯度7N等级,成为全球范围内同时掌握SEMI G5等级和6-7N纯度技术工艺产品的少数领军之一,部分产品已打破国外技术垄断,填补国内技术空白,并通过多家行业头部制造企业的认证、测试。
公司承担国家科技部“集成电路12英寸晶圆制造用超高纯氢氟酸”项目;“微纳电子制造用超高纯电子气体”项目;“腐蚀性电子气体品质提升及市场应用”项目、浙江省科技厅“超纯氨水关键技术开发”项目;“集成电路制造用前驱体材料研发”项目、衢州市科技局“集成电路先进制程用电子级氢氟酸关键技术研发及产业化”项目;“集成电路先进制程用关键蚀刻气体研发及产业化”项目;“电子级六氟化钨关键技术开发及产业化”等科研项目,取得“专精特新”企业认证,积累了大量技术成果,荣获多项国家级、省级、市级殊荣。
科技创新是中巨芯综合实力腾飞的翅膀.截至2021年末,公司累计获得47项专利,其中发明36项,实用新型11项;公司高度重视研发投入,2021年研发投入4,017.40万元,三年来研发投入占营业收入的比例平均在7%。公司凭借优良的产品品质和丰富的产品组合,已获得了SK海力士、台积电、德州仪器、中芯国际、长江存储、华虹集团、华润微电子、合肥长鑫、厦门联芯、士兰微、立昂微、上海晶盟、华润微电子、德州仪器、京东方、华星光电等知名行业内主流客户的认可。
公司2018年至2021年营收分别为5,609.86万元、33,126.33万元、、40,018.19万元、56,579.56万元,标志着以中巨芯为代表的企业,化解先进制程的高端产品长期处于“卡脖子”状态,承接“国产替代”进程不断提速;中巨芯82名研发人员,508名全体同仁,以青春为名,矢志不渝,始终把技术工艺聚焦在“成为受人尊重的世界一流电子化学材料提供者”的企业愿景,为完善电子材料国产化产业链、提升国家核心竞争力的前行道路上勇当先锋。(林景)
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