多氟多电子级化学品实现进口替代

中国工业报记者 陈述明 通讯员 董少华

 

　　3月20至22日，由国际半导体设备材料产业协会（SEMI)和中国电子商会（CECC）共同举办的全球规模最大、规格最高的半导体产业年度盛会——“SEMICON China 2019” 在上海新国际博览中心举行。多氟多携电子级氢氟酸、电子级硫酸、电子级硝酸、甲硅烷等系列产品参展。

　　2018年，多氟多电子级氢氟酸与国内多家8寸和12寸半导体客户建立合作关系，并成功进入美国、韩国等半导体跨国公司供应链，产品品质达到了行业最高级别UP-SSS级，稳定实现进口替代。

 

　　

 

　　据中国工业报记者了解，电子级氢氟酸是应用于集成电路 (ＩＣ)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片制作过程的高端化工材料之一，主要用于芯片的刻蚀。全球具备最高品质电子级氢氟酸生产线的企业屈指可数，多氟多凭借30年氟化工创新实力成为其中之一。多氟多是技术工艺领先的精细无机氟化工领军企业、我国无机氟化工行业第一家上市公司。拥有国家认定企业技术中心、国家认可实验室、国家博士后科研工作站等研发机构，主持制、修订国家无机氟化物的100余项产品标准、分析方法标准、标准样品、生产技术规范等，新材料体系行业领先。公司于2012年建成超净高纯电子级氢氟酸生产线，制程设计为UP-SS级，经过自主创新、工艺优化，产品品质提升至UP-SSS级，目前已形成1万吨产能。产品广泛应用于半导体制程、半导体照明、晶体硅太阳能、平板显示等多个领域。公司采用DCS自动化操控系统，超净高纯PFA双套输送管道，万级自动清洗、千级自动灌装、百级取样分析，配备全球先进的检测仪器和设备，制程控制连续稳定，产品指标优于业界通用的UP－SS/SEMI－C12级水平，达到国际领先水平。除年产1万吨电子级氢氟酸之外，年产3万吨电子级硫酸、年产1万吨电子级硝酸、电子级氨水、电子级氟化铵等项目正在规划建设之中。

 

　　

 

　　2018年4月，多氟多并购浙江中宁硅业，打造中国电子化学品“南基地”，形成湿电子化学品和干电子化学品互补优势。中宁硅业是我国第一家国产工业化生产硅烷的厂家，是目前国内唯一一家同时进入光伏，TFT以及半导体三个行业硅烷厂家。该公司拥有国际上先进的硅烷法工艺，主打产品硅烷和多晶硅在2011年已做到了电子级，产品用于半导体、液晶面板和光伏行业，产品质量达到国外同等水平，年产多晶硅3000吨、高纯硅烷4000吨，生产工艺和产品质量达到世界领先水平，以替代进口为目标，氢气、笑气、氦气电子特种气体有60多种。目前中宁硅业正在投资建设纳米硅粉、电子级四氟化硅、电子级含氯硅烷、氟氮混合气、电子级多晶硅等项目，让更多的化工新材料走向世界。

 

　　

 

　　多氟多在新材料领域的快速发展受到了国内外众多半导体企业的热切关注，展会期间，多氟多会见了来自美国、日本、韩国、台湾地区及国内众多芯片企业、硅片制造商和上下游客户，就业务合作、前沿技术、产业趋势等开展了商务洽谈和深入交流。